О книге
Изложены вопросы технологии производства интегральных микросхем. Основное внимание уделено вопросам формирования структуры полупроводниковых микросхем. Рассмотрена технология получения тонких пленок в гибридных интегральных схемах. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств", профиль "Конструирование и технология электронных средств".
Характеристики
Издательство:
Инфра-Инженерия
Год издания:
2023-01-01
ISBN:
978-5-9729-1232-2
0 
