Физические основы нанотехнологий и наноматериалы. Учебное пособие

Изложены физические основы нанотехнологий, а также свойства наноматериалов, используемых в электронной промышленности и энергетике. Особое внимание уделено технологическим аспектам получения наноматериалов, их свойствам и конструктивным особенностям, позволяющим создавать новые элементы наноэлектроники, нанофотоники и микросистемной техники. Для студентов, обучающихся по направлениям подготовки 11.04.03 "Конструирование и технология электронных средств", 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника".