BOOK
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 2
Часть вторая. Элементы и маршруты изготовления кремниевых ИС и методы их математического моделирования.
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.
Стоимость в разных магазинах:
Лабиринт
Стоимость: 483 ₽*
* на сайте партнёра. На нашем - не является публичной офертой?
Прочее:
ISBNS: 978-5-94774-585-6
Издатель: Просвещение/Бином
Publish date: 2012-01-01
Серия: -
Жанры: Электротехника. Электроника Машиностроение. Приборостроение
Empty