Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1
0 Оценок
Отзывов
О книге
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.
Характеристики
Издательство:
-
Год издания:
-
ISBN:
-
Отзывы
0Чтобы оставить отзыв или проголосовать, необходимо авторизоваться
0 
