Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев
0 Оценок
Отзывов
О книге
В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001.
Характеристики
Издательство:
-
Год издания:
-
ISBN:
-
0 
