Физические основы кремниевой наноэлектроники. Учебное пособие для вузов
0 Оценок
Отзывов
О книге
Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм. Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов "Физические основы наноэлектроники", "Наноэлектронные технологии", "Физика микроэлектронных структур".
Характеристики
Издательство:
Лаборатория знаний
Год издания:
2017-01-01
ISBN:
978-5-9963-0181-2
0 
