Химико-технологические основы микро- и наноэлектроники. Учебное пособие

Рассматриваются история и технологические основы электроники, свойства химических элементов и их соединений, основные технологические процессы микро- и наноэлектроники, основные виды нанотехнологий и их изделий, а также нанотехнологическое оборудование. Для студентов всех форм обучения по направлениям: 11.03.01 "Радиоэлектроника", 11.03.02 "Инфокоммуникационные технологии и системы связи", 11.03.03 "Конструирование и технология электронных средств", 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника", а также учащихся колледжей электронного и радиотехнического профилей.