Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие
0 Оценок
Отзывов
О книге
Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микроэлектромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро и наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающему данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве. Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры "Электроника и наноэлектроника", "Конструирование и технология электронных средств". 2-е издание, стереотипное.
Характеристики
Издательство:
Лань
Год издания:
2022-01-01
ISBN:
978-5-507-46956-7, 978-5-8114-5788-5, 978-5-8114-9566-5
0 
