О книге
Представлены конструкции и принципы работы основных типов микродатчиков и микросистем, разработанных и применяемых в настоящее время. Даны определения основным терминам, используемым в микросистемной технике. Приведен перечень метрологических параметров, характеризующих микросистему как измерительный прибор. Отдельным вопросом рассмотрено компьютерное моделирование и проектирование микросистем на основе программного пакета ANSYS. Для студентов, обучающихся по программам подготовки 12.04.01 "Приборостроение" и 28.03.01 "Нанотехнологии и микросистемная техника".
Характеристики
Издательство:
Инфра-Инженерия
Год издания:
2023-01-01
ISBN:
978-5-9729-1220-9
0 
