BOOK
Неравновесная плазма хлора. Свойства и применение
В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами.
Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников.
Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.
Стоимость в разных магазинах:
Лабиринт
Стоимость: 444 ₽*
* на сайте партнёра. На нашем - не является публичной офертой?
Прочее:
ISBNS: 978-5-9221-1406-6
Издатель: Физматлит
Publish date: 2013-01-01
Серия: -
Жанры: Физические науки. Астрономия
Empty