О книге
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника».
Характеристики
Издательство:
-
Год издания:
-
ISBN:
-
Отзывы
0Чтобы оставить отзыв или проголосовать, необходимо авторизоваться
0 
