BOOK
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие
В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделии микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.
Стоимость в разных магазинах:
Лабиринт
Стоимость: 823 ₽*
* на сайте партнёра. На нашем - не является публичной офертой?
Прочее:
ISBNS: 978-5-9963-0032-7
Издатель: Лаборатория знаний
Publish date: 2018-01-01
Серия: Нанотехнологии
Жанры: Электротехника. Электроника
Empty