О книге
Рассмотрены основы технологии производства интегральных микросхем. Приведены технологические операции изготовления основных элементов микро- и наноэлектроники, такие как производство полупроводниковых пластин, их легирование, нанесение тонких пленок, фотолитография, травление, металлизация, контроль процесса производства. Для студентов, обучающихся по направлению подготовки 11.03.04 "Электроника и наноэлектроника".
Характеристики
Издательство:
Инфра-Инженерия
Год издания:
2022-01-01
ISBN:
978-5-9729-0846-2
0 
