Введение в технологию материалов микроэлектроники. Часть 2. Основы технологий разделения и очистки
0 Оценок
Отзывов
О книге
Рассмотрены основные методы получения чистых и особо чистых материалов, используемых в технике и современной электронике. Приведены примеры практического использования методик очистки и особо чистых веществ в современной промышленности. Предназначено для студентов бакалавриата, обучающихся по направлениям «Электроника и наноэлектроника» и «Нанотехнологии и микросистемная техника».
Характеристики
Издательство:
Лань
Год издания:
2023-01-01
ISBN:
978-5-507-45480-8