Берлин Евгений Владимирович
Упрочнение стальных деталей плазмохимической обработкой
Индуктивные источники высокоплотной плазмы и их технологические применения
Плазменная химико-термическая обработка поверхности стальных деталей
Получение тонких пленок реактивным магнетронным распылением
Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии
